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等离子清洗机在不同频率的特点有哪些

  

等离子清洗机在不同频率的特点有哪些呢?下面我们简单的了解一下:

等离子体的功率汲取重点由两个粒子完毕,一个是电子,一个是离子(主若是正离子)。中频放电过程中,中频电源直接输送到电极板的电压高,发生的负自偏压形成了无谓的正离子的功率汲取,也直接形成了电极板的温升;正由于离子汲取了部分功率,用于电离的电子的功率汲取相应降低,这就形成了等离子体密度的低下。

射频放电(容性耦合方法)过程中,电极板发生的自偏压受到放电气压的影响,大体位于几十V到几百V的区间,电子的功率汲取重点来自于与电极板表面的振荡鞘层相互作用中取得的。所以,射频频率越高(如40.68MHz),电子取得的功率汲取相对较高,离子的轰击能量就会降下来。

射频放电(感觉耦合方法)过程中,由于不触及到电极,它是经过电磁感觉的方法完成功率耦合的,电子从涡旋电场中取得能量,而离子能量很低(小于10V),等离子体密度高,属于无极放电的范畴。

微波放电有两种方法,表面波型和电子盘旋共振型,商业用于洗刷的通常都属于表面波型,其工作模式是经过辐射微波电磁场直接将气体击穿完成放电,明显,没有离子的加速作用,因此其电子密度较高,但通常要求放电气压高。而放电气压高带来的问题是等离子体局域化对照要紧,纵深洗刷对照差,也不利于多层面的大标准的洗刷处理,此外,微波电磁场对电子元器件多多少少会有电磁辐射作用,有可能会形成电子元器件的击穿损伤。

上述就是等离子清洗机在不同频率的特点,希望对你有所帮助。