等离子清洗机可以对材料表面进行清洗、活化和蚀刻。

清洗功能：等离子体是一种物质状态，又称比较四种物质状态，不属于一般的固体、液体和气体三种状态。当足够的能量作用于气体使其电离时，它就变成等离子体状态。等离子体的“活性”成分包括离子、电子、原子、活性基团、激发态核素(亚稳态)、光子等。等离子体清洁器的目的是利用这些活性成分的特性来清洁样品的表面。

活化功能：当等离子体与被处理物体表面接触时，材料表面发生化学和物理变化，表面分子链结构发生变化。自由基如羟基和羧基已经建立。这些组分可以促进各种涂层材料的粘合，并在粘合和涂料的应用中得到优化。

蚀刻功能：将不同的材料与相应的气体结合，形成强烈的蚀刻蒸汽等离子体，与材料表面的本体反应，产生化学反应和物理冲击。将材料本体表面的固体材料气化，产生CO、CO 2、H 2等气体，达到微蚀的目的。低温等离子清洗机蚀刻均匀，不改变材料基体的特性，能有效粗化材料表面，并能精确控制微蚀量