一、洗刷对象经等离子洗刷之后是干燥的，不需求再经干燥处理能够送往下一道工序。不妨升高悉数工艺流水线的处理效率;

二、等离子洗刷使得用户不妨远离有害溶剂对人体的危害，同时也防止了湿法洗刷中简易洗坏洗刷对象的问题;

三、防止运用三氯乙烷等ODS有害溶剂，如此洗刷后不会发生有害污染物，因此这种洗刷方式属于环保的绿色洗刷方式。这在全球高度关注环保的状况下越发显出它的重要性;

四、选用无线电波界线的高频发生的等离子体与激光等直射光线差异。等离子体的目标性不强，这使得它不妨深远到物体的微细孔眼和凹下的内部完毕洗刷使命，因此不需求过多研究被洗刷物体的形式。而且对这些难洗刷部位的洗刷功效与氟利昂洗刷的功效类似甚而更好;

五、运用等离子洗刷，不妨使得洗刷效率取得极大的升高。悉数洗刷工艺流程几分钟内能够完毕，因此拥有产率高的特点;

六、等离子洗刷需求管制的真空度约为100Pa，这种洗刷条件很简易抵达。因此这种装置的设备本钱不高，加上洗刷过程不需求运用价值较为高昂的有机溶剂，这使得整体本钱要低于传统的湿法洗刷工艺;

七、运用等离子洗刷，防止了对洗刷液的运输、存储、排放等处理对策，所以制作场所很简易维持干净卫生;

八、等离子体洗刷不妨不分处理对象，它不妨处理林林总总的材质，无论是金属、半导体、氧化物，仍然高分子原料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物)都不妨运用等离子体来处理。因此独特合适于不耐热和不耐溶剂的材质。而且还不妨有选择地对原料的整体、片面或复杂结构进行部分洗刷;

九、在完毕洗刷去污的同时，还不妨改良原料自身的表面功能。如升高表面的润湿功能、改良膜的黏着力等，这在很多使用中都是相当重要的